特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1. 硅族气体：含硅基的硅烷类，如硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷等。

2. 掺杂气体：含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等。

3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等。

4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三甲基镓等。