产品特性:
砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体,有大蒜气味.与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂,易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定,在230-240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物,可中毒神经。
用途: 砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂,硅中“N”型扩散,离子注入,生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。 工业上生产的砷烷用于有机合成。
物化性质:
包装及贮运:包装标志:有毒气体。副标志:易燃气体。砷烷无腐蚀性,因此大部分市售材料均可用。但是,由于砷烷主要用于半导体工业,因此推荐采用不锈钢材质。在高纯系统中要用不锈钢减压器。 由于砷烷是剧毒和可燃气体,因此使用和贮存仅可在通风的气瓶柜、排风柜或有强制通风的房间内。由于它与空气混合可形成爆炸混合气,因此应远离热源和火源。使用前所有管线、接头、设备等应彻底检漏和接地,仅可使用防火花工具和防爆设备。 运输中钢瓶阀必项保护和密封。CGA规定,装运砷烷的气瓶必须每5年试一次水压。在砷烷气瓶上禁止使用泄压部件。
毒性与防护:剧毒气体,TLV-TWA:0.05×10-6(0.2mg/m3)。吸入250×10-6的砷烷气可立即致死。由于中毒症状可滞后发生,所以对于怀疑吸入砷烷的情况下,应保持医疗观察48h。中毒症状包括剧烈的头痛、恶心、黄疸症、少尿和无尿,尿可变成暗色和带血,皮肤可变成黄色或金属金,眼睛可能由蓝变白。
吸入危害性;毒性强,有似大蒜气味。一旦吸入,可能致命;在空气中可能生成易爆物毒性与防护:氮气无毒、是一种窒息性气体。
用途:集成电路,太阳能电池等。