产品特性：
砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味．与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230-240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物，可中毒神经。
用途： 砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。 工业上生产的砷烷用于有机合成。

物化性质：
包装及贮运：包装标志：有毒气体。副标志：易燃气体。砷烷无腐蚀性，因此大部分市售材料均可用。但是，由于砷烷主要用于半导体工业，因此推荐采用不锈钢材质。在高纯系统中要用不锈钢减压器。 由于砷烷是剧毒和可燃气体，因此使用和贮存仅可在通风的气瓶柜、排风柜或有强制通风的房间内。由于它与空气混合可形成爆炸混合气，因此应远离热源和火源。使用前所有管线、接头、设备等应彻底检漏和接地，仅可使用防火花工具和防爆设备。 运输中钢瓶阀必项保护和密封。CGA规定，装运砷烷的气瓶必须每5年试一次水压。在砷烷气瓶上禁止使用泄压部件。

毒性与防护：剧毒气体，TLV-TWA:0.05×10-6(0.2mg/m3)。吸入250×10-6的砷烷气可立即致死。由于中毒症状可滞后发生，所以对于怀疑吸入砷烷的情况下，应保持医疗观察48h。中毒症状包括剧烈的头痛、恶心、黄疸症、少尿和无尿，尿可变成暗色和带血，皮肤可变成黄色或金属金，眼睛可能由蓝变白。
吸入危害性；毒性强，有似大蒜气味。一旦吸入，可能致命；在空气中可能生成易爆物毒性与防护：氮气无毒、是一种窒息性气体。
用途：集成电路，太阳能电池等。