三氯氢硅又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米³ ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

中文名 三氯氢硅   外文名 Trichlorosilane
化学式 SiHCl3     熔点 －126.5℃
沸点  33℃        CAS 10025-78-2

别名硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；Trichlorosilane、Silicochloroform．
用途
多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。
制法
⑴在高温下Si和HCl反应
⑵用氢还原四氯化硅（采用含铝化合物的催化剂）
⑶用氢、硅粉、四氯化硅反应。
性质
分子量：135.43
熔点（101.325kPa）：-134℃；沸点（101.325kPa）：31.8℃；液体密度(0℃）：1350kg/m3；相对密度（气体，空气=1）：4.7；蒸气压(-16.4℃）：13.3kPa；（14.5℃）：53.3kPa；燃点：-14℃；自燃点：104.4℃；闪点：-27.8℃；爆炸极限：6.9～70%；毒性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：

化学性质
三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2．HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好，在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾（HCl），还生成Cl2和Si。
遇潮气时发烟，与水激烈反应：2SiHCl3+3H2O—→ (HSiO)2O+6HCl
在碱液中分解放出氢气:SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2
与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷：
SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 、SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3
在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，SiHCl3可被还原为硅烷。容器中的液态SiHCl3当容器受到强烈撞击时会着火。可溶解于苯、醚等。无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。在高温条件下，三氯氢硅能被氢气还原生成硅 SiHCl3 +H2==1357K=Si +3HCl