超纯氨的分子式是分子式：NH3，超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反应为： 750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。虽然NH3在半导体制造用量不大，但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料，NH3的质量好坏直接决定发光二极管（LED）的亮度，它的价格高低左右着LED的经济性。

物理性质
分子式：NH3
A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.（一种无色，有毒，可燃，具腐蚀性的可液化气体。）沸点-33.4℃。熔点-77.7℃。蒸汽压888KPa（21.1℃）。比容22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)。最低可燃性含量15%。最高可燃性含量30%。人体的最高容许浓度25ppm。DOT类别2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)。DOT标签FLAMMABLE GAS(可燃性气体)。

化学性质
超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反应为：750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。虽然NH3在半导体制造用量不大，但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料，NH3的质量好坏直接决定发光二极管（LED）的亮度，它的价格高低左右着LED的经济性。发光二极管LED是继爱迪生发明电灯后，人类又一次照明工业的革命，发达国家（包括我国台湾省在内）为在此领域获得更大的主动权，纷纷成立国家照明工作委员会，LED现已产业化生产，台湾生产的LED已大量进入我国市场，为打破专利垄断，中国成立了照明工作领导办公室，中国将在2006年全面推广半导体照明，届时对NH3的需求将猛增。LED是利用超纯氨同三甲基镓（被称为MO源）反应，生成GaN半导体的，其反应为650℃Ga(CH3)3+NH3 ，GaN+CH4N2 发达国家光电子发展速猛，处于成熟期，因此，极大推动气体公司对氨提高纯度的研究，AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3纯度达到6.4N，被称为“Blue Ammonia”。它是采用工业氨经吸附——精馏——深度化学净化等联合工艺，对氨进行净化。亚洲的日本昭合电工株式会社，有电子级氨对外出售，目前，我国许多LED生产用户所用的进口氨，基本上是普莱克斯、APCI和日本昭合电工。