三元混合气体使用范围比较少，主要由Ar 、HE、 H2、 O2、N2、 CO2、等配制而成。
一般混合气体的配比均可在较大范围内变化，只有在对多元纯度要求非常高的情况下才会对各配制的单元气体纯度要求更高。纯度很高的情况下，对单元气体的纯度要求达到5N以上。三元混合气体根据组分和浓度的不同，满足三元素混合根据客户实际配比要求比例，进行配比。纯度要求均达到分析纯的要求。
